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JEITA (社)電子情報技術産業協会 半導体技術ロードマップ専門委員会
| 問合わせ先： |
| 社団法人 電子情報技術産業協会 |
| 半導体技術ロードマップ専門委員会事務局 |
| ０３－５２７５－７２５８ |
| mailto:roadmap@jeita.or.jp |
２００２年度 ＳＴＲＪ報告書（ロードマップ） |
| はじめに | |
| ＳＴＲＪ組織図 | |
| メンバー表 | |
| 第１章 | 設計 TF / PIDS / FEP クロスカット活動報告 (859KB) |
| 第２章 | 配線/メトロロジ クロスカット活動報告 (1,133KB) |
| 第３章 | ２００２年度国際・国内活動報告 |
| ３－０ ＩＲＣ国際活動・ＳＴＲＪ国内活動 (812KB) | |
| ３－１ ＷＧ１ 設計 (526KB) | |
| ３－２ ＷＧ２ テスト (1,352KB) | |
| ３－３ ＷＧ３ ＦＥＰ（フロントエンドプロセス） (510KB) | |
| ３－４ ＷＧ４ 配線 (369KB) | |
| ３－５ ＷＧ５ リソグラフィ (732KB) | |
| ３－６ ＷＧ６ ＰＩＤＳ（デバイス） (1,032KB) | |
| ３－７ ＷＧ７ 実装 (954KB) | |
| ３－８ ＷＧ８ ＦＩ（ファクトリインテグレーション） (4,110KB) | |
| ３－９ ＷＧ９ ＥＳ＆Ｈ（環境・安全・健康） (856KB) | |
| ３－１０ ＷＧ１０ Ｍ＆Ｓ（モデリング＆シミュレーション） (454KB) | |
| ３－１１ ＷＧ１１ ＭＥＴ（メトロロジ） (654KB) | |
| ３－１２ ＷＧ１１ Ｙ．Ｅ．（歩留向上） (433KB) | |
| ３－１３ 設計タスクフォース (537KB) | |
| 外部発表論文リスト | |
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JEITA (社)電子情報技術産業協会 半導体技術ロードマップ専門委員会
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