１９９９年度 ＳＴＲＪ報告書

半導体技術動向に関する調査研究報告
－半導体産業発展のための技術指針－
序章・第１章
  序文 (379KB)
  要約 (1,129KB)
第２章
  設計 (625KB)
  テスト (235KB)
  フロントエンドプロセス (663KB)
  配線 (135KB)
  リソグラフィ (232KB)
  デバイス（PIDS） (1,898KB)
  実装 (133KB)
  ファクトリインテグレーション (87KB)
  ES&H (651KB)
  モデリング＆シミュレーション (134KB)
  計測技術 (162KB)
  欠陥低減 (151KB)
  SoC設計 (52KB)
  共通技術指標特性 (22KB)

(注) この報告書は、通商産業省「平成11年度高度技術集約型産業等研究開発調査」
の活動結果をまとめたものです。


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社団法人　電子情報技術産業協会
半導体技術ロードマップ専門委員会事務局
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