2009年度 STRJ報告書 |
| 巻頭言 (123KB) | ||
| 半導体技術ロードマップ専門委員会メンバー (315KB) | ||
| [半導体技術ロードマップの部] | ||
| 第1章 | IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動 (948KB) | |
| 第2章 | WG1 設計 (723KB) | |
| 第3章 | WG2 テスト (933KB) | |
| 第4章 | WG3 FEP (フロントエンドプロセス) (924KB) | |
| 第5章 | WG4 配線 (854KB) | |
| 第6章 | WG5 リソグラフィ (1,035KB) | |
| 第7章 | WG6 PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ) (846KB) | |
| 第8章 | WG7 実装 (1,016KB) | |
| 第9章 | WG8 ファクトリ・インテグレーション (1,018KB) | |
| 第10章 | WG9 ES&H (環境・安全・健康) (263KB) | |
| 第11章 | WG10 モデリング&シミュレーション (815KB) | |
| 第12章 | WG14 メトロロジ (計測) (2,037KB) | |
| 第13章 | WG11 歩留向上 (1,016KB) | |
| 第14章 | WG12 ERD (598KB) | |
| 第15章 | WG13 ERM (1,072KB) | |
| 外部発表リスト (114KB) | ||
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JEITA (社)電子情報技術産業協会 半導体技術ロードマップ専門委員会
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