| 半導体技術ロードマップ専門委員会 | |
| Semiconductor Technology Roadmap Committee of Japan |
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ＳＴＲＪワークショップでの講演スライドがご覧になれます。 3/7 STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第二部 『ITRS 2007 に見る今後のLSI技術の方向性』 |
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リソグラフィWG 「コストへの挑戦 －多重露光からEUVLへ－」 東川 巌 (WG5リーダー：東芝) |
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配線WG 「配線技術ロードマップ －微細化の深耕とBeyond Cu/Low-kの展望－」 宮﨑 博史 (WG4リーダー：ルネサステクノロジ) |
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メトロロジーWG 「Metrologyの現状と課題のレビュー」 河村 栄一 (WG11サブリーダー：富士通) |
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歩留向上WG 「見えない化進行の中での歩留向上 －微細化による歩留技術のパラダイムシフト－」 桑原 純夫 (WG11リーダー：NECエレクトロニクス) |
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実装WG 「ＳｉＰの現在と将来」 中島 宏文 (WG7サブリーダー：NECエレクトロニクス) |
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FI WG 「工場の能動的可視化と生産性ロスの削減－Next Generation Factory (NGF)－」 平井 都志也 (WG8リーダー：ソニー) |
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特別講演 「生産性向上を目指す次世代生産システム」 増井 知幸 (半導体先端テクノロジーズ) |
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ES＆H WG 「半導体の環境課題と地球温暖化対策 －半導体工場省エネガイドについて－」 遠峰 徹 (WG9委員：セイコーエプソン) |
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故障解析技術タスクフォース 「故障解析関連データの標準化」 寺田 浩敏 (故障解析技術TF特別委員：浜松ホトニクス) |
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モデリング／シュミレーションWG 「M&Sによるデバイス開発加速 －デバイス・材料モデリングと計算パワーで推進－」 麻多 進 (WG10リーダー：NECエレクトロニクス) |
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