| 半導体技術ロードマップ専門委員会 | |
| Semiconductor Technology Roadmap Committee of Japan |
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ＳＴＲＪワークショップでの講演スライドがご覧になれます。 3/5(金) STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第二部 『2003年版ITRS報告および今後の技術の方向性』 |
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リソグラフィWG 「液浸： ArFの延命とNGL」 龜山 雅臣 氏 (STRJ特別委員：ニコン) |
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配線WG 「論理的根拠に基いた合理的かつ現実的な配線技術ロードマップ」 柴田 英毅 氏 (STRJ委員：東芝) |
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メトロロジ/欠陥低減WG 「検査･計測の壁を日本の技術で乗り越える」 池野 昌彦 氏 (STRJ委員：ルネサステクノロジ)、 小島 勇夫 氏 (STRJ特別委員：産総研)、 西萩 一夫 氏 (STRJ特別委員：テクノス) |
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ファクトリインテグレーションWG 「工場の可視化と次世代生産方式」 本間 三智夫 氏 (STRJ委員：NECエレクトロニクス) |
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故障解析技術TF 「未知を既知にする次世代テクノロジ革新のキー技術」 二川 清 氏 (STRJ委員：NECエレクトロニクス)、 丹藤 安彦 氏 (STRJ委員：富士通)、 益子 洋治 氏 (STRJ委員：ルネサステクノロジ) |
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ES&H WG 「デバイスの環境性能をLCAで計る： JEITAロジック標準プロセス」 橋本 真也 氏 (STRJ委員：NECエレクトロニクス) |
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